Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов

Гоник Марк Михайлович and Боевкин Виктор Иванович
Additional contact information
Гоник Марк Михайлович: Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Боевкин Виктор Иванович: Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана

Управление большими системами: сборник трудов, 2010, issue 28, 211-229

Abstract: Рассматривается многосвязная система автоматического управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов, позволившая обеспечить регулирование температуры вокруг растущего кристалла с точностью 0,05-0,1 градусов на протяжении всего ростового цикла. Проектирование системы управления основано на предварительном исследовании и выборе информационной структуры многосвязной системы с целью уменьшения взаимного влияния каналов в объекте управления и изменения его параметров в процессе роста кристалла. Исследование системы и определение стратегии управления проводится на базе динамической численной двумерной модели тепломассопереноса при кристаллизации. Управление многомерным объектом осуществляется с помощью сепаратных ПИД-регуляторов.

Keywords: УПРАВЛЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНЫМ РЕЖИМОМ; МНОГОСВЯЗНАЯ СИСТЕМА; ИССЛЕДОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННОЙ СТРУКТУРЫ; MULTIDIMENSIONAL (MIMO) SYSTEM (search for similar items in EconPapers)
Date: 2010
References: Add references at CitEc
Citations:

Downloads: (external link)
http://cyberleninka.ru/article/n/povyshenie-tochno ... chivaniya-kristallov

Related works:
This item may be available elsewhere in EconPapers: Search for items with the same title.

Export reference: BibTeX RIS (EndNote, ProCite, RefMan) HTML/Text

Persistent link: https://EconPapers.repec.org/RePEc:scn:022092:5381066

Access Statistics for this article

More articles in Управление большими системами: сборник трудов from CyberLeninka, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН
Bibliographic data for series maintained by CyberLeninka ().