ДЕТЕКТОР С БАРЬЕРОМ ШОТТКИ НА ОСНОВЕ Pt2Si/PtSi – Si
Nasimi Kazimov,
Мамедова А.Ф.,
Джалалова С.Э.,
Алиева Д.И.,
Гасанова Т.А. and
Махмудова В.Х.
No 7513, 2nd International Conference on Energy, Regional Integration and Socio-Economic Development from EcoMod
Abstract:
Нами изготовлен фототранзистор с барьером Шоттки на основе контакта Pt2 Si/PtSi – Si, индуцированного, и р – канальный встроенного типаКанал был сформирован внедрением ионов бора с энергией 50 кэв и дозой 2• 1012 см-2. Истоки и стоки полевых транзисторов сформированы диффузией фосфора с поверхностным сопротивлением 8 Ом/□ и диффузией бора 6 Ом/□ на глубину 1,5мкм. Затвор из Pt2Si/PtSi получен методом показанный в работе Рассмотренный ИК – детектор может быть совмещен с элементами интегральных схем, что открывает широкие перспективы для его использования в многоэлементных инфракрасных фотоприемниках большой степени интеграции.
Keywords: Azerbaijan; Economic and financial effects of climate change; Infrastructure (search for similar items in EconPapers)
Date: 2014-10-01
References: Add references at CitEc
Citations:
Downloads: (external link)
http://ecomod.net/system/files/%20%D0%A4.docx
Our link check indicates that this URL is bad, the error code is: 403 Forbidden (http://ecomod.net/system/files/%20%D0%A4.docx [301 Moved Permanently]--> https://ecomod.net/system/files/%20%d0%a4.docx)
Related works:
This item may be available elsewhere in EconPapers: Search for items with the same title.
Export reference: BibTeX
RIS (EndNote, ProCite, RefMan)
HTML/Text
Persistent link: https://EconPapers.repec.org/RePEc:ekd:006666:7513
Access Statistics for this paper
More papers in 2nd International Conference on Energy, Regional Integration and Socio-Economic Development from EcoMod Contact information at EDIRC.
Bibliographic data for series maintained by Theresa Leary ().