Автоматизация микробалансного метода измерения покрытий адсорбата in situ

Белоус Игорь Александрович and Доценко Валентин Антонович
Additional contact information
Белоус Игорь Александрович: Владивостокский государственный университет экономики и сервиса
Доценко Валентин Антонович: Владивостокский государственный университет экономики и сервиса

Территория новых возможностей. Вестник Владивостокского государственного университета экономики и сервиса, 2016, issue 2 (33), 100-104

Abstract: Для количественного измерения величины покрытий адсорбата при росте тонких плёнок широко применяется метод кварцевого микробаланса, который заключается в измерении сдвига резонансной частоты специального кварцевого резонатора, зависящего от массы адсорбированного на нем вещества. Описана система, разработанная для автоматизации измерений уровня покрытия при формировании тонких плёнок in situ. Автоматизированная система позволяет в автоматическом режиме производить измерения, исключив тем самым влияние грубых погрешностей (промахов оператора) на результаты измерений.

Keywords: КВАРЦЕВЫЙ МИКРОБАЛАНС; ПОКРЫТИЕ АДСОРБАТА; АВТОМАТИЗАЦИЯ ИЗМЕРЕНИЙ; ПЛАТА СБОРА ДАННЫХ; QUARTZ MICROBALANCE; COVERING ADSORBATE; MEASUREMENT AUTOMATION; DATA ACQUISITION BOARD (search for similar items in EconPapers)
Date: 2016
References: Add references at CitEc
Citations:

Downloads: (external link)
http://cyberleninka.ru/article/n/avtomatizatsiya-m ... iy-adsorbata-in-situ

Related works:
This item may be available elsewhere in EconPapers: Search for items with the same title.

Export reference: BibTeX RIS (EndNote, ProCite, RefMan) HTML/Text

Persistent link: https://EconPapers.repec.org/RePEc:scn:006010:16797810

Access Statistics for this article

More articles in Территория новых возможностей. Вестник Владивостокского государственного университета экономики и сервиса from CyberLeninka, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Владивостокский государственный университет экономики и сервиса»
Bibliographic data for series maintained by CyberLeninka ().